3月6日上午，光明区工业和信息化局、深圳市智能传感行业协会共同组织的MEMS中试线企业需求研讨会在光明公用服务平台举行。速腾聚创、汉威科技、美思先端、海谱纳米、南科大、格物感知、国微感知、戴维莱、比特原子、天陆海、智芯微纳、万感科技等十多家MEMS相关企业和机构负责人参会。

MEMS（微机电系统）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，通过半导体制造等微纳加工手段，形成特征尺度为微纳米量级的具有机械结构的系统装置。

MEMS工艺与传统的IC工艺有许多相似之处，MEMS借鉴了IC工艺，如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等，对于毫米甚至纳米级别的加工技术，传统的IC工艺是无法实现的，必须得依靠微加工，进行精细的加工，能达到想要的结构和功能。

相比一般的集成电路芯片（IC），MEMS制造工艺不追求先进制程，而更注重功能特色化，即利用微纳结构或/和敏感材料实现多种传感和执行功能，工艺节点通常从500nm到110nm，衬底材料也不局限硅，还包括玻璃、聚合物、金属等。

会上，与会代表听取了光明区智能传感器产业发展情况，并就如何通过MEMS产线建设推动智能传感器产业发展进行探讨。企业表示，因为MEMS传感器具有一种产品一种加工工艺的特点，因此对中试线也有着不同的需求，如运营团队专业性，设备工艺的兼容性，服务的时效性与配合度，如何满足更多种类的工艺特点，对知识产权的保护等等。

企业表示，部分工艺可通过6寸线或实验线来完成，然后再上8寸线，这样在良品率、开发进度等方面效率将更高，也能够节省部分成本。在模式方面也可以考虑让部分有能力的企业参与运营，或者适当开放部分空间给企业放置自己的设备来完成前道工艺。

目前MEMS传感器研发中试平台由于建设投入大、专业性高已成为共性需求，企业自身的技术储备、专业能力各不相同。与会企业表示希望能够做一些定期的培训，共同做标准如标准器件、标准工艺，并将自己的know-how放到PDK里，不断地充盈PDK，大家一起做开发时就会提高效率。

关键词:智能传感器 MEMS

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来 源：深圳市智能传感行业协会

编辑：清风

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